삼성전자가 반도체 공정 제어·관리에 적용할 '스마트센서 시스템'을 자체 개발한다.
지난 25일 업계에 따르면, 삼성전자가 반도체 제조 공정에 적용할 스마트센터 시스템 연구개발에 돌입했다. 관련 협력사, 학계와 손잡고 프로젝트를 진행하고 있는 것으로 전해졌다.
삼성전자가 개발하고 있는 스마트센서는 웨이퍼용 플라스마 균일도를 측정하는 용도다. 플라스마는 반도체 공정 중 핵심인 시각·증착·세정 등에 사용된다.
반도체 공정이 이루어지는 챔버 내 플러스마 균일도와 밀도를 정확하게 제어해야 반도체 수율을 높일 수 있는 것으로 전해졌다. 반도체 업계에서는 플러스마 상태를 정확하게 측정하고 관리하는 것이 대표 과제로 손꼽힌다.
현재 웨이퍼용 스마트센서는 외산 제품이 다수이다. 시스템까지 포함해 수천만 원에 달하는 것으로 확인됐다. 일각에서는 반도체 공정 제어를 위한 센서 수요가 많이 늘어나면서 삼성전자가 독자 개발에 나선 것이 아니냐고 분석했다.
삼성전자가 독자 개발 중인 스마트센터는 초소형으로 기존 장비 공간에 큰 영향을 주지 않는다. 이에 따라 공간 활용도를 높이면서도 생산성을 개선할 수 있을 것으로 알려졌다.
삼성전자 관계자는 "이와 관련해 자세한 내용은 확인이 어렵다"고 말했다.
[위키리크스한국=민희원 기자]
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